Elektronenstrahlverfahren (n)

Beim Elektronenstrahlverfahren werden in Vakuum-, Halbvakuum- oder Atmosphärenmaschinen Elektronen beschleunigt und als gebündelter Strahl auf das Werkstück gelenkt.

Für die Mikrotechnik sind Elektronenstrahlverfahren wegen ihrer extrem hohen Energiedichten auf sehr kleinem Wirkquerschnitt und der guten Steuerbarkeit des Elektronenstrahls geeignet.