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Für die Rautiefenbestimmung von 1 µm eignet sich das Lichtschnittmikroskop.
Das Interferenzmikroskop eignet sich für Rautiefenunterschiede von ca. 2 µm.
Für die Rautiefenbestimmung mit einer gemittelten Rauhtiefe von 1 µm eignet sich das Lichtschnittmikroskop.